Modelado del Flujo de Escurrimiento en Microresonadores Perforados

Abstract

En el presente trabajo se presenta un modelo alternativo para simular la presencia de perforaciones en micro-placas, para el problema de amortiguamiento viscoso (squeeze flow) presente en dispositivos de microescala. Este tipo de geometrías se encuentran frecuentemente presentes en microactuadores de radiofrecuencia (switch RF-MEMS). El problema de amortiguamiento viscoso en placas perforadas está siendo abordado actualmente por varios autores, por considerarse de gran importancia en el estudio de la dinámica de dispositivos MEMS, ya que las perforaciones están presentes en gran parte de dichos dispositivos que actúan en presencia de aire o algún otro gas (no en vacío). Para modelar las perforaciones, se considera que el flujo de aire que atraviesa las mismas es de tipo Poiseuille. El modelo que se presenta está implementado en Oofelie, y los resultados de simulación se comparan con datos experimentales, principalmente para placas de polisilicio con perforaciones de sección cuadrada y
relaciones de aspecto acordes a la formulación del modelo.